Рассмотрены процессы образования активных частиц в плазме и их взаимодействия с поверхностью твердого тела, а также технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. Пособие предназначено для студентов специальности ''Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники'' и может быть полезно для студентов и аспирантов, специализирующихся по технологии микроэлектроники и в смежных областях Книга «Вакуумно...
Рассмотрены процессы образования активных частиц в плазме и их взаимодействия с поверхностью твердого тела, а также технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. Пособие предназначено для студентов специальности ''Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники'' и может быть полезно для студентов и аспирантов, специализирующихся по технологии микроэлектроники и в смежных областях Книга «Вакуумно-плазменные процессы и технологии: Учебное пособие» авторов В. А. Рыбкин, М. А. Ефремова, Светцов В.И. оценена посетителями КнигоГид, и её читательский рейтинг составил 0.00 из 10.
Для бесплатного просмотра предоставляются: аннотация, публикация, отзывы, а также файлы для скачивания.
Рецензии на книгу
Написано 0 рецензий