Читать онлайн «Вакуумно-плазменные процессы и технологии: Учебное пособие»

Федеральное агентство по образованию Российской Федерации Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Ивановский государственный химико-технологический университет А. М. Ефремов, В. И. Светцов, В. В. Рыбкин ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПРОЦЕССЫ И ТЕХНОЛОГИИ Учебное пособие Допущено учебно-методическим объединением по образованию в области химической технологии и биотехнологии в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники» Иваново 2006 УДК Вакуумно-плазменные процессы и технологии: Учеб. пособие/А. М. Ефремов, В. И. Светцов, В. В. Рыбкин; ГОУВПО Иван. гос. хим. -технол. ун-т. Иваново, 2006. 260 с. ISBN 5-9616-0155-2 Рассмотрены процессы образования активных частиц в плазме и их взаимодействия с поверхностью твердого тела, а так же технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. Пособие предназначено для студентов специальности «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники» и может быть полезно для студентов и аспирантов, специализирующихся по технологии микроэлектроники и в смежных областях. Печатается по решению редакционно-издательского совета ГОУВПО Ивановского государственного химико-технологического университета Рецензенты: Д. х. н. , профессор Гиричев Георгий Васильевич Д. т. н. , профессор Семенов Владимир Константинович Редактор В. Л. Родичева © ГОУВПО Ивановский государственный химико-технологический университет, 2006 Подписано в печать 28. 03. 2006. Формат 60х84 1/16. Бумага писчая. Усл. печ. л. 15,11. Уч. -изд. л. 16,77 Тираж 150 экз. Заказ ГОУВПО Ивановский государственный химико-технологический университет Отпечатано на полиграфическом оборудовании кафедры экономики и финансов ГОУВПО «ИГХТУ» 153000, г. Иваново, пр. Ф. Энгельса, 7  ПРЕДИСЛОВИЕ Вакуумно - плазменные технологии относятся к наукоемкимим технологиям, позволяющим осуществлять обработку материалов и формировать структуры на наноразмерном уровне и по этому признаку могут быть отнесены к нанотехнологиям. Реализация таких технологий требует высококвалифицированных кадров, хорошо ориентирующихся в вопросах физики и химии неравновесных плазменных процессов в объеме и на поверхности и умеющих разрабатывать и прогнозировать технологические процессы вакуумно-плазменной обработки самых различных материалов – металлов, полупроводников, диэлектриков, полимеров.