Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
Описание книги
Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности. Сегодня размеры используемых полупроводниковых подложек возросли до 450 мм, а размеры элементов, формируемых на пластине в серийном производстве, уменьшились до 0,02-0,04 мкм. В результате степень интегра...
Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности. Сегодня размеры используемых полупроводниковых подложек возросли до 450 мм, а размеры элементов, формируемых на пластине в серийном производстве, уменьшились до 0,02-0,04 мкм. В результате степень интеграции выросла до одного миллиарда и более полупроводниковых приборов на одной пластине.
Использование ВЧ разряда индуктивно связанной плазмы (ICP) как плазмообразующего источника предоставляет большие преимущества для технологии изделий с микро и нано элементами. В частности, с его помощью достигают высокую плотность плазмы (1011-1012 см-3), минимальный разброс ионов по энергиям (?ei ? 5 эВ), относительно низкое рабочее давление (10–2?10–1 Па) и низкую энергетическую цену иона (30?80) эВ/ион. Благодаря отсутствию накаливаемых узлов, источник ICP обладает большим ресурсом работы с химически активными газами. Особенно важно, что он предоставляет возможность независимого управления энергией и плотностью потока ионов, поступающих на подложку. Успехи в конструировании источников ICP для целей микроэлектроники побудили разработчиков оборудования применить их и в других отраслях, например, в азотировании стальных деталей, обработке полимерных пленок и нанесении специальных покрытий методами PVD и PECVD.
За последнее десятилетие эти источники нашли широкое промышленное применение, по которому появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела необходимость составления обзора, цель которого систематизация основных экспериментальных результатов разработки и применения источников ICP.
В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP. Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD. И, кроме того, описано формирование плазмохимическим травлением трехмерных структур в различных материалах и двумерных структур в тонких пленках и связанное с такой обработкой существенное изменение свойств поверхностей различных материалов, в особенности полупроводников.
Таким образом, настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP. В ней обобщено современное развитие этих технологических процессов и используемого для них оборудования. Книга рассчитана на студентов, аспирантов, конструкторов нового технологического оборудования, использующего источники ICP, и технологов, работающих на таком оборудовании. Конструкторы найдут в ней обзор способов достижения высоких параметров источников ICP, а технологи ознакомятся с широким спектром их применения и полученных с их помощью достижений. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций. Книга «Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения» авторов Василий Григорьев, Берлин Евгений Владмирови, Сейдман Лев Александрович оценена посетителями КнигоГид, и её читательский рейтинг составил 0.00 из 10.
Для бесплатного просмотра предоставляются: аннотация, публикация, отзывы, а также файлы для скачивания.
- Просмотров: 35
- Рецензий: 0
- Переводчики: не указаны
- Серия: Мир материалов и технологий
- ISBN (EAN): 978-5-94836-519-0
- Языки: не указаны
- Возрастное ограничение: не указано
- Год написания: 2020
Посмотрите еще
Знаете ли вы, что такое время? А как придумали теорию струн? Какой химический элемент – самый большой в мире? А вот Дмитрий Побединский, физик, популярный видеоблогер и постоянный автор "Чердака", знает – и может рассказать! Существуют ли параллельные вселенные? Можно ли создать настоящий световой меч? Что почувствует искусственный интеллект при первом поцелуе? Как устроена черная дыра? На эти и д...
Один из самых известных научных писателей - о поисках истинного возраста Вселенной и теории всего. Джон Гриббин рассказывает драматичную историю поиска истинного возраста Вселенной и звезд. Он считает, что это открытие - одно из величайших достижений человечества, и доказывает, что современная физика на верном пути к открытию ?Теории всего?. Ведь еще несколько поколений назад люди могли лишь...
Темно-синее небо, полное звезд, всегда привлекало человечество. Подняв голову, человек видел причудливые фигуры, образованные яркими звездами. Кассиопея, Андромеда, Орион - такие красивые названия созвездий перешли к нам от древних римлян и греков. С развитием техники ученые обнаружили другие интересные объекты - туманности, звездные скопления, галактики. Созвездия Девы, Гончих Псов, Геркулеса, Ле...
Известный писатель и журналист Стивен Котлер уже не раз рассказывал нам о тех поворотных моментах в истории, когда научная фантастика становится научным фактом и полностью переворачивает наш мир. Здесь собраны лучшие его статьи, знакомящие читателя с новейшими достижениями науки и техники и их влиянием на нашу дальнейшую жизнь. Как утверждает сам Котлер, научно-технический прогресс есть не что ино...
Дайсон рассказывает о величайших физиках XX века - Ричарде Фейнмане, Роберте Оппенгеймере, Поле Дираке и Стивене Вайнберге, многих из которых он знал лично. Кроме того, он пишет о британской атомной программе под эгидой Уинстона Черчилля и об опытах Вернера фон Брауна по созданию космических ракет. Важно, что автор в провокационном, зачастую неполиткорректном стиле подходит к обсуждению самых прот...
Это необычная книга для тех, кто интересуется красотой и чудесами звездного неба. Изучив труды древних авторов, Аллен написал увлекательную историю о том, как люди разных культур давали имена созвездиям, как в течение многих веков их описывали в литературе и устных преданиях, о том, какие невероятные ассоциации вызывали звезды у античных народов. Автор рассказал, как появились солнечный и лунный з...
Антиматерия - одна из любимых тем писателей-фантастов. Тем не менее она реальна, и ученые уже научились ее получать. Материя и антиматерия появились в результате Большого Взрыва в равных количествах. Но материя осталась, а антиматерии в нашей Вселенной нет или почти нет. Почему так получилось? Что происходило почти четырнадцать миллиардов лет назад? Есть ли другие вселенные, состоящие из антиматер...
Последние годы отмечены стремительным расширением области применения теоретико-вероятностных и статистических методов. Они применяются в физике, технике, геологии, биологии, лингвистике и т.д. Один из основных разделов математической статистики - теория проверки статистических гипотез - исчерпывающим образом изложен в книге Э.Лемана, известного американского специалиста. Статистические критер...
Книга посвящена истории создания и становления Московского физико-технического института (МФТИ) - легендарного Физтеха. Это был вуз нового типа, быстро ставший необходимым элементом государственной системы подготовки научно-инженерных кадров для работы в исследовательских институтах Академии наук СССР и технически передовых отраслей промышленности. Вся научная работа студентов и выпускников Физтех...
На страницах увлекательной и познавательной книги "Астрономия" можно найти ответы на множество самых интересных вопросов! Почему в созвездии Большой Медведицы насчитывается более 100 звезд, а изображают его как фигуру в виде ковша, состоящую только из семи? Действительно ли существуют НЛО, или это просто человеческие фантазии? Есть ли на других планетах времена года? Что такое Млечный Путь? Откуд...
В предлагаемой книге авторы – известные ученые и бизнесмены, занимающиеся теоретическими и практическими проблемами нанотехнологий, – описывают состояние дел и перспективы их развития на ближайшее десятилетие, а также возможное воздействие нанотехнологий на глобальные процессы.Книга предназначена для широкого круга читателей: научных работников, специалистов, а также студентов профильных учебных з...
Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и
В монографии изложены основы радиационной теории и механизмов влияния облучения на металлы и сплавы. Текст разделен на три части, каждая из которых включает отдельные главы, представляющие объединенную картину влияния облучения на изменение структуры и свойств металлических материалов. Часть I монографии посвящена физическим процессам радиационного повреждения металлов и сплавов при облучении. ...
В книге рассмотрен новый класс материалов, из которых делают легкую броню. Производство таких изделий в последнее время выделилось в самостоятельную индустрию. Показаны требования, предъявляемые к легким баллистическим материалам, методы их испытания и сферы применения. Представлены облегченные волокнистые материалы, из которых делают средства индивидуальной защиты — бронежилеты, каски и броню тра...
В книге приведен исчерпывающий обзор основных типов полимерных нанокомпозитов. Часть I посвящена силикатам со слоистой структурой, рассмотрены их свойства: воспламеняемость и термостойкость, барьерные свойства, износостойкость и подверженность микробиологическому разрушению. В части II рассматриваются нанотрубки, наночастицы и неорганически-органические гибридные системы, анализируется их упруг...
В книге рассмотрены теоретические и практические аспекты МОС-гидридной эпитаксии (МОСГЭ) - одного из наиболее гибких и производительных современных методов получения полупроводниковых структур. Кратко изложены физико-химические основы метода, приведено описание высокопроизводительного технологического оборудования для реализации МОСГЭ и методов контроля роста эпитаксиальных слоев in situ, затронут...
Книга является первым систематическим обзором потенциальных военных приложений нанотехно логий. В ближайшие 10-20 лет могут быть созданы сверхмалые компьютеры, более легкие и прочные материалы, новые типы оружия и даже имплантаты, вводимые в организм военнослужащих. Перспективы военных нанотехнологий рассматриваются прежде всего с точки зрения международной безопасности и предотвращения новой гонк...
Книга представляет собой подробное справочное руководство по основам плазменной химико-термической обработки поверхности стальных деталей. В ней обобщены сведения о современном развитии этих технологических процессов, теоретические основы и методы их проведения. Детально проанализированы виды оборудования и принципы его конструирования для достижения высокой производительности, воспроизводимости и...
Развитие технологий создания пьезоактивных материалов и их широкое внедрение в электронику требует своевременной научно-информационной и учебно-методической поддержки. Представляемая монография ставит целью рассмотрение как общих вопросов физики пьезо- и сегнетоактивных материалов, так и узконаправленных тем, посвященных специфике получения и практического применения изделий из пьзоэлектрической к...
В учебном пособии, состоящем из Введения и 11 глав, обобщены результаты исследований, посвященных различным аспектам биоактивных и лекарственных нанокомпозитных систем. Большое внимание уделено особенностям синтеза и тому новому, что дает наноразмер объектов в протекании в них различных физико-химических процессов. Кроме того, сделана попытка систематизировать методы синтеза, приводящие к получени...
Рецензии на книгу
Написано 0 рецензий