В книге описаны основные технологические процессы полупроводникового производства; рассмотрены: тенденции и особенности производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем; виды механической, химической и электрохимической обработки; изготовление фотошаблонов; процессы фотолитографии, эпитаксии, диффузии, ионной имплантации, испарения и распыления в вакууме; методы защиты поверхности структур, сборки и герметизации приборов; технологии изготовления структур на полупроводниковых соед...
В книге описаны основные технологические процессы полупроводникового производства; рассмотрены: тенденции и особенности производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем; виды механической, химической и электрохимической обработки; изготовление фотошаблонов; процессы фотолитографии, эпитаксии, диффузии, ионной имплантации, испарения и распыления в вакууме; методы защиты поверхности структур, сборки и герметизации приборов; технологии изготовления структур на полупроводниковых соединениях типа AIII BV, а также биполярных и МДП интегральных микросхем.
Учебное пособие предназначается для студентов вузов по специальностям полупроводниковой и электронной техники. Книга «Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Учебное пособие» авторов Владимир Юдин, Анатолий Курносов оценена посетителями КнигоГид, и её читательский рейтинг составил 0.00 из 10.
Для бесплатного просмотра предоставляются: аннотация, публикация, отзывы, а также файлы для скачивания.
Рецензии на книгу
Написано 0 рецензий