А. В. Федоров, А. В. Баранов, А. П. Литвин, С. А. Черевков
Специальные методы
измерения физических величин
Учебное пособие
Санкт-Петербург
2014
МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ
УНИВЕРСИТЕТ ИНФОРМАЦИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ, МЕХАНИКИ И
ОПТИКИ
А. В. Федоров, А. В. Баранов, А. П. Литвин, С. А. Черевков
Специальные методы измерения
физических величин
Санкт-Петербург
2014
2
Федоров А. В. , Баранов А. В. , Литвин А. П. , Черевков С. А. Специальные
методы измерения физических величин. Учебное пособие. – СПб: НИУ
ИТМО, 2014. – 127 с. Рис. 78. Библ. 127. В учебном пособии рассматриваются современные экспериментальные
методы изучения наноструктур, включая электронную и атомно-силовую
микроскопию, рентгеновскую спектроскопию, а также стационарную и
нестационарную оптическую спектроскопию. Учебное пособие предназначено для обучения магистров по направлению
200700 «Фотоника и оптоинформатика» в рамках Магистерской
программы 200700. 68 «Физика наноструктур» для изучения дисциплины
«Специальные методы измерения физических величин». Материал может
быть рекомендован для студентов старших курсов физико-технических
специальностей, а также при подготовке магистров и аспирантов,
специализирующихся в области применения оптических методов в
нанотехнологиях. Рекомендовано УМО вузов Российской Федерации по образованию в
области приборостроения и оптотехники для студентов высших учебных
заведений, обучающихся по направлениям подготовки магистратуры
12. 04. 03 (200700) «Фотоника и оптоинформатика». Протокол заседания
Президиума УМО № 2 от 09. 04.
2014. © Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет
информационных технологий, механики и оптики, 2014
© Федоров А. В. , Баранов А. В. , Литвин А. П. , Черевков С. А. 2014
3
О ГЛ А В ЛЕ Н И Е
ВВЕДЕНИЕ 8
Список основных обозначений 9
РАЗДЕЛ 1. НАНОСТРУКТУРЫ. МЕТОДЫ И ТЕХНИКА 11
ИССЛЕДОВАНИЯ И ДИАГНОСТИКИ НАНОРАЗМЕРНЫХ
ОБЪЕКТОВ
Глава 1. Общие представления о наноструктурах, методах и 11
технике исследования и диагностики нанообъектов
§ 1. 1. Типы наноструктур 11
§ 1. 2. Технологии формирования наноструктур 18
1. 2. 1. Нанолитография 19
1. 2. 2. Молекулярно-лучевая эпитаксия 20
1. 2. 3. Осаждение из газовой фазы 21
1. 2. 4. Металлоорганический синтез коллоидных квантовых 23
точек
§ 1. 3. Методы определения морфологии наноструктур 24
1. 3. 1. Электронная микроскопия 24
1. 3. 2. Сканирующая туннельная и атомно-силовая 28
микроскопия
1. 3. 3.