Читать онлайн «Физические основы электронной и ионной технологии»

'$£ А» Аброяк, , -A. H, Андронов, А» И. Титов ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ИИОННОЙ ТЕХНОЛОГИИ laifinnnwiiMw. — ■ in и I mttmmmtMii9M*wm4mimm4mmmmwrmmwr\ у тч i' 'iii'i url* " ' ■ ■ для вузов - >'' 'Vi'T'- i l-i «rf—r^" " nrnVr'rTtnrrnm-imflrnrr mini nurmmrmmmmmmmmtm4t_nn<(j\ mmimmt^m. jfiMUtvixiji издательство Высшая Школа И. Л. Лброян, А. II. Андронов, А. И. Гигов ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ЭЛЕКТРОННОЙ И ИОННОЙ ТЕХНОЛОГИИ Допущено Министерством высшего и среднего специального образования СССР в качестве учебного пособия для студентов специальностей электронной техники вузов Москва «Высшая школа» 1984 ББК 32. 85 А 16 УДК 621. 38 Рецензенты: Кафедра «Физическая электроника» Ташкентского политехнического института; д-р физ. -мат. наук, проф. П. В. Павлов (Горьковский государственный университет им. Н. И. Лобачевского) Аброян И. А. , Андронов А. Н. , Титов А. И. А 16 Физические основы электронной и ионной технологии: Учеб. пособие для спец. электронной техники вузов. I— M. : Высш. шк. , 1984. — 320 с, ил. В пер. : 90 к. В книге изложены физические основы взаимодействия ионов и электронов с веществом; рассмотрены возможности применения этих процессов в технологии изготовления приборов, интегральных микросхем на основе полупроводниковых и пленочных материалов и др. 2403000000—436 ББК 32. 85 А 001(01)—84 127~84 6Ф0. 3 Измаил Артурович Аброян, Александр Николаевич Андронов, Андрей Иванович Титов ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ЭЛЕКТРОННОЙ И ИОННОЙ ТЕХНОЛОГИИ Зав. редакцией Л. А. Романова. Редактор С. В. Никитина. Художественный редактор В. П. Спирова. Младшие редакторы Т. В. Шеганова, И. А. Исаева. Технический редактор Э. М. Чижевский. Корректор Р. К. Косинова ИБ № 3565 Изд. № ЭР-337 Сдано в набор 28. 05. 84. Подп. в печать 20. 09. 84. Т-18922. Формат 84Х1087з2. Бум. тип. № 2. Гарнитура литературная. Печать высокая. Объем 16,8 усл. печ. л. 16,8 усл. кр. -отт. 17,62 уч. -изд. л. Тираж 10 000 экз. Заказ № 560. Цена 90 коп. Издательство «Высшая школа», 101430, Москва, ГСП-4, Неглинная ул. , Д. 29/14 Московская типография № 8 Союзполиграфпрома при Государственном комитете СССР по делам издательств, полиграфии и книжной торговли, 101898, Москва, Центр, Хохловский пер. , 7. Tl И " "*Ч *;:И~© Издательство «Высшая школа», 1984 M^Olii I IIM-'ДПСЛОВИЕ Учебное пособие написано по курсам «Физика электронных иных процессов» и «Физические основы микроэлектроники и • ■и ифипной технологии», изучаемым студентами специальности • Фишчсткли электроника», его содержание согласовано с про- |||цммммп этих курсов. Книга может быть использована также • i у центами специальностей «Полупроводники и диэлектрики», Полупроводниковые и микроэлектронные приборы», «Электронные приборы», «Технология специальных материалов электронной и чинки», «Полупроводниковое и электровакуумное машинострое- Инг*, «Промышленная электроника» и др. В связи с этим в пер- Hurt 1. /ШМС книги изложены основные сведения о закономерностях ■м. мшодопствия электронов и ионов с веществом в таком объеме, мчмрыи необходим для понимания физических принципов элект- I in»ft п ионной технологии. Ион росы, относящиеся к технологическому использованию • •и и фшшых и ионных пучков, рассматриваются в пособии раз- - . но, с учетом специфики электронного и ионного облучения.