Читать онлайн «Материаловедение в микроэлектронике»

\ г г МАТЕРИАЛО- МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ В МРШ>01- Электронное материаловедение Л. С. ПАЛАТНИК, В. К. СОРОКИН МАТЕРИАЛО- МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ В МИКРО- МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ МОСКВА «ЭНЕРГИЯ» 1978 6Ф2. 13 П !4 УДК 621. 3S2—18H. 4 Палатник Л. С, Сорокин В. К. П 14 Материаловедение в микроэлектронике. — М. : Энергия, 1977. — 280 с, ил. (Электронное мате- материаловедение). В книге освещены основные вопросы материаловедения в области лов: проводящих, сверхпроводящих, магнитных, резистивных пленок и эпитаксиальиых пленок кремния. ПРЕДИСЛОВИЕ РЕДАКТОРА В течение длительного времени микроэлектроника развивалась в основном по двум почти непересекаю- непересекающимся направлениям. С одной стороны, создавались и совершенствовались технологические методы изго- изготовления микроэлектронных приборов и схем, а с дру- другой — широким фронтом проводились фундаменталь- фундаментальные исследования физических свойств пленочных сис- систем. Не получив конкретных технологических примене- применений, эти исследования первоначально неодобрительно рассматривались приверженцами первого направлений. Постепенно стало выясняться, что чрезмерный «эмпиризм» в технологии оправдан далеко не всегда. Иногда такой подход порождает излишний оптимизм в отношении устройств, технология которых содержит принципиальные «генетические» недостатки физико-хи- физико-химического происхождения, а иногда, напротив, приво- приводил к недооценке перспективных направлений лишь на том основании, что при первых попытках их реали- реализации возникали трудности, казавшиеся непреодоли- непреодолимыми. Окончательно сомнения в необходимости разум- разумного синтеза указанных направлений развеялись после того, как в результате глубоких исследований свойств твердых тел, и в первую очередь их поверхностных свойств, а также изучения физических характеристик материалов в тонкопленочном состоянии были созданы совершенно новые типы приборов, например полевые транзисторы, приборы зарядной связи, приборы, осно- основанные на плазменных эффектах в твердых телах, и т. л. Фактически в последние годы произошла серьезная «перестройка» психологии технологов, работающих в области микроэлектроники. Поводом к этому послужило бесчисленное количе- количество примеров, доказывающих, что матсриаловедческии 3 аспект микроэлектроники, безусловно, является решаю- решающим при технологической реализации любого, пусть даже весьма совершенного, конструкторского или схе- схемотехнического замысла. Сейчас уже нет недостатка в журнальных статьях, написанных с этой позиции. Этого, к сожалению, нель- нельзя сказать о монографиях, хотя, разумеется, появилось немало книг, отражающих научно-технические достиже- достижения в каждом из упоминавшихся выше направлений в отдельности.