А. А. Бобцов, В. И. Бойков, С. В. Быстров,
В. В. Григорьев, П. В. Карев
ИСПОЛНИТЕЛЬНЫЕ УСТРОЙСТВА
И СИСТЕМЫ ДЛЯ МИКРОПЕРЕМЕЩЕНИЙ
Санкт-Петербург
2017
МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
УНИВЕРСИТЕТ ИТМО
А. А. Бобцов, В. И. Бойков, С. В. Быстров,
В. В. Григорьев, П. В. Карев
ИСПОЛНИТЕЛЬНЫЕ УСТРОЙСТВА
И СИСТЕМЫ ДЛЯ МИКРОПЕРЕМЕЩЕНИЙ
Учебное пособие
Санкт-Петербург
2017
А. А. Бобцов, В. И. Бойков, С. В. Быстров, В. В. Григорьев, П. В. Карев
Исполнительные устройства и системы для микроперемещений. – СПб:
Университет ИТМО, 2017. – 134 с. Содержание дисциплины охватывает круг вопросов, связанных с разработкой, ис-
следованием и применением исполнительных пьезоэлектрических преобразова-
телей. В первом разделе дается историческая справка внедрения пьезоэлектриче-
ского эффекта в технические системы. Раскрывается физическая природа прямого
и обратного пьезоэффектов, предлагается подход к их математическому описа-
нию. Второй раздел пособия посвящен материальной базе пьезоэлектрических ис-
полнительных устройств: от современной пьезокерамики до законченного в
своем конструктивном исполнении пьезодвигателя. В третьем разделе рассматри-
вается подход к составлению модели пьезодвигателя на примере многослойного
пьезоактюатора с нагрузкой, рассматриваются проблемы, связанные с нелиней-
ностью статических характеристик пьезоактюаторов, называются причины их по-
явления, даются рекомендации по их учету при моделировании. Четвертый раз -
дел содержит рекомендации по структуре и составу функциональных схем циф-
ровых пьезоприводов, рассматриваются часто встречающиеся варианты с регули-
рованием по выходу и подчиненным регулированием. В качестве примеров при-
водятся системы и приводы, разработанные авторами в последние годы. Учебное пособие адресовано магистрантам, обучающимся по следующим
направлениям подготовки: 27. 04. 03 «Системный анализ и управление» и 27.
04. 04
«Управление в технических системах». Рекомендовано к печати Учёным советом Факультета СУиР, 21. 02. 2017,
протокол №2. Университет ИТМО – ведущий вуз России в области информационных и
фотонных технологий, один из немногих российских вузов, получивших в 2009
году статус национального исследовательского университета. С 2013 года
Университет ИТМО – участник программы повышения конкурентоспособности
российских университетов среди ведущих мировых научно-образовательных
центров, известной как проект «5 в 100». Цель Университета ИТМО –
становление исследовательского университета мирового уровня,
предпринимательского по типу, ориентированного на интернационализацию всех
направлений деятельности.
Университет ИТМО, 2017
А. А. Бобцов, В. И. Бойков, С. В. Быстров, В. В. Григорьев, П. В. Карев, 2017
СОДЕРЖАНИЕ
Введение………………………………………………………………………. . …... . . 5
1. Пьезопреобразователи, тенденции развития, принцип
действия…………………………………………………………... ... ... . . …. . 7
1. 1 Тенденции развития и использования пьезоэлектрических
исполнительных устройств……………………………………... ……. 7
1. 2 История открытия пьезоэффекта………………………………. . ……14
1. 3 Явление пьезоэлектрического эффекта…………………………. …15
2.