Читать онлайн «Методы исследования полупроводников»

Ю. В. В. Снитко (Институт полупровод- полупроводников АН УССР), доктор физико-математических наук И. М. Раренко (кафедра полупроводниковой микроэлек- микроэлектроники Черновицкого государственного университета) Редакция литературы по информатике и автоматике Зав. редакцией Г. Ф. Трсфимчук Воробьев Ю. В. и др. В75 Методы исследования полупроводников / Ю. В. Воробьев, В. Н. Добровольский, В. И. Стри- ха. К. : Выща шк. Головное изд-во, 1988. — 232 с, 125 ил. — Библиогр. : 35 назв. ISBN 5—11—000230—4 В учебном пособии рассмотрены методы определения ос- основных параметров полупроводниковых материалов (удельно- (удельного сопротивления, концентрации и подвижности носителей за- заряда, термических, термоэлектрических и рекомбинационных параметров, а также параметров, характеризующих поверх- поверхность полупроводника). Изложены физические принципы мето- методик исследования полупроводников, приведены схемы экспе- экспериментальных установок, проанализированы условия примени- применимости различных методик и основные источники их погреш- погрешностей. Особое внимание уделено проблемам использования ЭВМ в исследованиях полупроводников. Для студентов физический и радиофизических специаль- специальностей вузов. 2401000000—60 яя КУ-№3-127—1988 ББК 22. 379с. я. 73 88 ISBN 5—11—000230—4 © Издательское объединение «Выща школа», 1988 ОГЛАВЛЕНИЕ Основные условные обозначения 5 Введение 6 Глава 1. Основные представления и параметры физической мо- модели полупроводников 10 1. 1. Зонная модель полупроводников 10 1. 2. Рассеяние. Время релаксации и подвижность но- носителей заряда 17 1. 3. Время жизни и длина диффузионного смещения ... 21 1. 4. Явления переноса 23 1. 5. Эффект Холла 26 1. 6. Оптические параметры полупроводника 40 1. 7. Параметры приповерхностной области полупроводника 48 Глава 2. Подготовка образцов, методы создания внешних поз- действий и их измерения 49 2. 1. Подготовка образцов ... . . 49 2. 2. Методы измерения электрических сигналов 51 2. 3. Магнитные поля и их измерение 54 2. 4. Измерение температур 55 2. 5. Источники и приемники светового излучения ... 57 2. 6. Принципы метрологического обеспечения 60 Глава 3. Методы измерения удельного сопротивления ... . 63 3. 1. Определение удельного сопротивления образца по его полному сопротивлению 63 3. 2. Двухзондовый метод измерения удельного сопротив- сопротивления 68 3. 3. Однозондовый метод измерения удельного сопротив- сопротивления 73 3. 4. Четырехзондовый метод измерения удельного сопро- сопротивления ... ... . 77 3. 5. Измерение удельного сопротивления пласгин произ- произвольной формы 80 3. 6. Погрешности зондовых методов.