Читать онлайн «Вакуумная и плазменная электроника: Учебное пособие»

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ Ивановский государственный химико-технологический университет В. И. Светцов ВАКУУМНАЯ И ПЛАЗМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА Учебное пособие Рекомендовано учебно-методическим объединением по химико- технологическому образованию в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений по специальности 251000 – «Химическая технология материалов и изделий электронной техники» Иваново 2003  УДК 621. 38 Вакуумная и плазменная электроника: Учеб. пособие / В. И. Светцов; Иван. гос. хим. -технол. ун-т. Иваново, 2003. 172 с. ISBN 5-230-01605-1 Учебное пособие «Вакуумная и плазменная электроника» предназначено для студентов специальности 251000 «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники», изучающих дисциплину «Физическая электроника и электронные приборы» и студентов, обучающихся по направлению 550700 «Электроника и микроэлектроника» при изучении дисциплины «Вакуумная и плазменная электроника». Печатается по решению редакционно-издательского совета Ивановского государственного химико-технологического университета. Рецензенты: кафедра электроники и микроэлектронных систем Ивановского государственного энергетического университета; кандидат химических наук С. С. Галактионов (Российский химико- технологический университет им. Д. И. Менделеева). Рекомендовано учебно-методическим объединением по химико- технологическому образованию в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений по специальности 251000 – «Химическая технология материалов и изделий электронной техники». ISBN 5-230-01605-1  Ивановский государственный химико-технологический университет, 2003  ПРЕДИСЛОВИЕ Изучение физики явлений и физических основ работы приборов вакуум- ной и газоразрядной электроники является необходимым элементом подготов- ки инженеров - технологов электронной техники. Данное пособие предназначено для студентов специальности 251000 "Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники", изучающих дисциплину "Физическая электроника и электронные приборы" и студентов, обучающихся по направлению 550700 "Электроника и микроэлектроника" при изучении дисциплины "Вакуумная и плазменная элек- троника". Пособие может быть полезно и для студентов других приборных и технологических специальностей, а так же практических инженеров. Учебное пособие подготовлено на основе курса лекций, читаемых авто- ром студентам специальности 251000 и направления 550700. Оно включает два основных раздела, каждый из которых сопровождается контрольными вопро- сами и набором заданий и задач для практических занятий и самостоятельной работы. При подготовке пособия использована учебная и монографическая ли- тература, список которой приведен, а так же периодические издания по элек- тронной технике.