Министерство образования и науки Российской Федерации
Ивановский государственный химико-технологический университет
А. И. Максимов
ПЛАЗМОХИМИЯ НЕРАВНОВЕСНЫХ ПРОЦЕССОВ
Учебное пособие
Иваново 2010
УДК 66. 01: 537. 525
Максимов А. И. Плазмохимия неравновесных процессов: учеб. пособие
/А. И. Максимов; Иван. гос. хим. -технол. ун-т. – Иваново, 2010. - 114 с. Учебное пособие подготовлено в соответствии с курсом лекций такого
же названия, читаемым студентам ВХК РАН в рамках специализации
«Нелинейные процессы в химической технологии и химическая
синергетика». Пособие содержит три главных раздела: основы физики
неравновесной газоразрядной плазмы, химическая активация в
неравновесной плазме и важнейшие химические процессы, реализуемые в
неравновесной плазме. Наиболее подробно рассмотрены процессы
плазменного модифицирования полимеров. Издание может быть полезно студентам ВХК РАН, а также студентам
других специальностей, аспирантам и научным сотрудникам
Табл. 11. Ил. 85. Библиогр. 2 назв. Печатается по решению редакционно-издательского совета
Ивановского государственного химико-технологического университета. Рецензенты:
доктор химических наук, А. М. Колкер (Институт химии расворов РАН);
доктор химических наук, А. В. Агафонов (Институт химии растворов РАН)
© Максимов А. И. © Ивановский государственный
химико-технологический
университет, 2010
ОГЛАВЛЕНИЕ
Оглавление ………………………………………………………………… 3
Введение …………………………………………………………………… 5
I. Элементы физики неравновесной плазмы…………………………. . 5
1. 1. Квазинейтральность и разделение зарядов…………………………. . 5
1. 2. Дебаевский радиус экранирования………………………………….
. 6
1. 3. Плавающий потенциал………………………………………………. . 9
1. 4. Электрический зонд в плазме………………………………………… 9
II. Неравновесная газоразрядная плазма……………………………... 11
2. 1. Общие сведения………………………………………………………. 11
2. 2. Зависимость свойств плазмы о её плотности. Замечания о роли
нелинейных эффектов……………………………………………………. . 14
III. Способы возбуждения газоразрядной плазмы. Разряды
низкого давления…………………………………………………………. 16
3. 1. Стационарный тлеющий разряд постоянного тока………………… 16
3. 2. Периодические разряды………………………………………………. 19
3. 2. 1. Низкие и промежуточные частоты………………………………… 19
3. 2. 2. Высокие частоты……………………………………………………. . 20
3. 3. Свойства плазмы разряда постоянного тока некоторых
молекулярных газов………………………………………………………. . 23
IV. Химическая активация газа в неравновесной плазме
пониженного давления………………………………………………… 32
4. 1.