В. В. Коротаев, А. В. Краснящих
ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ
ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННЫЕ
ПРИБОРЫ
Методические указания по выполнению лабораторных работ
вкл
вкл вкл
Санкт-Петербург
2006
УДК 621. 383 + 681. 7. 013. 6 + 681. 586. 5
В. В. Коротаев, А. В. Краснящих. Измерительные оптико-электронные приборы
/ Методические указания по выполнению лабораторных работ. – СПб: СПбГУ
ИТМО, 2006. – 104 стр. Рекомендовано к изданию учебно-методической комиссией кафедры
оптико-электронных приборов и систем 23. 11. 2005 г. (протокол № 8). Рекомендовано к изданию учебно-методической комиссией
факультета оптико-информационных систем и технологий 01. 12. 2005 г.
(протокол № 6). Для студентов кафедры оптико-электронных приборов и систем. © Санкт-Петербургский государственный университет
информационных технологий, механики и оптики, 2006
© В. В. Коротаев, А. В. Краснящих, 2006
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральное агентство по образованию
Санкт-Петербургский государственный университет информационных
технологий, механики и оптики
Кафедра оптико-электронных приборов и систем
В. В. Коротаев, А. В. Краснящих
ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ
ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННЫЕ
ПРИБОРЫ
Методические указания по выполнению лабораторных работ
Санкт-Петербург
2006
СОДЕРЖАНИЕ
Лабораторная работа № 1
«Исследование прибора ПУЛ-6»…... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ...
... ... ... ... ... ... . 4
Лабораторная работа № 2
«Исследование прибора ПУЛ-Н»…... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . . 30
Лабораторная работа № 3
«Исследование эллипсометра ЛЭФ-3М-1»... ... ... ... . ………………... 45
Лабораторная работа № 4
«Исследование малогабаритного оптико-электронного
автоколлиматора»…………………………………………………. . 61
Лабораторная работа № 5
«Контроль погрешности микромеханизма системы Мейера
с помощью измерительного оптико-электронного микроскопа»… 69
Лабораторная работа № 6
«Исследование оптико-электронной системы
контроля прямолинейности»……………………………………… 77
3
ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА №1
«ИССЛЕДОВАНИЕ ПРИБОРА ПУЛ-6»
Цели работы
Выполнение работы преследует следующие цели.
1. Изучение принципа действия приборов на основе оптической
равносигнальной зоны.
2. Изучение принципа действия и устройства приборов ПУЛ-6.
3. Исследование составляющих погрешности приборов ПУЛ-6.
4. Получение практических навыков определения основных
метрологических характеристик измерительных приборов. Назначение приборов, краткие теоретические сведения
Приборы ПУЛ-6 и ПУЛ-Н (см. Лабораторную работу №2
«ИССЛЕДОВАНИЕ ПРИБОРА ПУЛ-Н») относятся к группе приборов с
оптической равносигнальной зоной (ОРСЗ).