МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
УНИВЕРСИТЕТ ИТМО
В. И. Иванов, Е. В. Соколова
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА
ЛАБОРАТОРНЫЙ ПРАКТИКУМ
Учебно-методическое пособие
Санкт-Петербург
2016
1
УДК 621. 521
Иванов В. И. , Соколова Е. В. Вакуумная техника. Лабораторный
практикум: Учеб. - метод. пособие. СПб. : Университет ИТМО,
2016. 40 с. Представлены лабораторные работы по основным разделам дисциплины
«Вакуумная техника». Пособие содержит обзор теоретических вопросов, связанных
с вакуумными приборами и оборудованием, а именно спецификой измерений вакуума
в криогенных объектах, а также схемы и описание работы механических
и пароструйных вакуумных насосов. Пособие предназначено для работы студентов направлений бакалавриата 14. 03. 01
Ядерная энергетика и теплофизика и 16. 03. 03 Холодильная, криогенная техника
и системы жизнеобеспечения очной и заочной форм обучения по дисциплине
«Вакуумная техника». Рецензент: доктор техн. наук, проф. О. Б. Цветков
Рекомендовано к печати Советом факультета холодильной,
криогенной техники и кондиционирования, протокол № 1 от
31. 08. 2016 г. Университет ИТМО – ведущий вуз России в области информационных
и фотонных технологий, один из немногих российских вузов, получивших
в 2009 году статус национального исследовательского университета. С 2013 года Университет ИТМО – участник программы повышения
конкурентоспособности российских университетов среди ведущих
мировых научно-образовательных центров, известной как проект
«5 – 100». Цель Университета ИТМО – становление исследовательского
университета мирового уровня, предпринимательского по типу,
ориентированного на интернационализацию всех направлений
деятельности. Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет
информационных технологий, механики и оптики, 2016
Иванов В. И. , Соколова Е. В. , 2016
2
СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ. …………. …………. …………. …………. ……………. . 4
1. ВАКУУМНЫЕ ОБОРУДОВАНИЕ И ПРИБОРЫ……………. 5
1. 1. Термопарные вакуумметры……………. . ………...
... ... ... ... ... 5
1. 2. Ионизационные вакуумметры…………. . ……... ... ... ... ... ... ... . 7
1. 3. Специфика измерения вакуума в криогенных объектах…. 9
1. 4. Механические вакуумные насосы…………………………. . 12
1. 5. Пароструйные вакуумные насосы…………………………. . 15
1. 6. Проводимость трубопровода при молекулярном режиме
течения газа………. . ………………………………………… 19
2. ЛАБОРАТОРНЫЕ РАБОТЫ………. . …………………………. . 22
2. 1. Лабораторная работа №1
Испытание механического вакуумного насоса……………. 22
2. 2. Лабораторная работа №2
Испытание диффузионного вакуумного насоса…………... 26
2. 3. Лабораторная работа №3
Измерение проводимости трубопровода…………………... 31
2. 4.