Читать онлайн «Лабораторный практикум по дисциплинам «Технология изделий интегральной электроники», «Специальное технологическое оборудование» для студентов специальностей «Проектирование и производство РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии»»

Министерство образования Республики Беларусь Научно–производственное объединение “ИНТЕГРАЛ” Учреждение образования «БЕЛОРУССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИНФОРМАТИКИ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ» Филиал кафедры электронной техники и технологии Р УИ ЛАБОРАТОРНЫЙ ПРАКТИКУМ БГ по дисциплинам “ТЕХНОЛОГИЯ ИЗДЕЛИЙ ИНТЕГРАЛЬНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ”, а ек “СПЕЦИАЛЬНОЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ” для студентов специальностей: т “Проектирование и производство РЭС”, “Электронно-оптические системы и технологии” ио бл Би Минск 2007  2 УДК 621. 3. 049. 77 ББК 32. 844. 1 я 73 Л 12 Л 12 Лабораторный практикум по дисциплинам «Технология изделий интегральной электроники», «Специальное технологическое оборудование» Р для студентов специальностей “Проектирование и производство РЭС”, ”Электронно-оптические системы и технологии” / А. Ф. Керенцев, Я. А. УИ Соловьев, В. Л. Ланин, Е. В. Телеш // Под ред. А. П. Достанко и Л. П. Ануфриева. – Мн. : НПО “Интеграл”, 2007. –34 с. : ил. ISBN БГ Лабораторный практикум включают в себя исследования процессов формирования пленочных токопроводящих систем а магнетронным распылением на установке вакуумного напыления «Оратория 29» и технологии микросварных проволочных соединений ек ультразвуковой сваркой на автомате ультразвуковой микросварки ЭМ– 4020 б. Предназначен для закрепления и углубления теоретических т знаний, приобретения практических навыков работы с автоматизированным технологическим оборудованием. ио бл УДК 621. 3. 049. 77 ББК 32. 844. 1 я 73 Би © А. Ф. Керенцев, Я. А. Соловьев, В. Л. Ланин, Е. В. Телеш, 2007 © НПО”ИНТЕГРАЛ”, 2007  3 СОДЕРЖАНИЕ Лабораторная работа №1 ФОРМИРОВАНИЕ ПЛЕНОЧНЫХ ОКОПРОВОДЯЩИХ СИСТЕМ ИЗ АЛЮМИНИЕВЫХ СПЛАВОВ МАГНЕТРОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ…………. . 4 Лабораторная работа №2 ТЕХНОЛОГИЯ МИКРОСВАРНЫХ СОЕДИНЕНИЙ НА АВТОМАТЕ УЛЬТРАЗВУКОВОЙ МИКРОСВАРКИ ЭМ–4020 ……. . ………………………... 14 Р УИ БГ а ек т ио бл Би  4 Лабораторная работа № 1 ФОРМИРОВАНИЕ ПЛЕНОЧНЫХ ТОКОПРОВОДЯЩИХ СИСТЕМ ИЗ АЛЮМИНИЕВЫХ СПЛАВОВ МАГНЕТРОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ Цель работы Изучить характеристики и методы формирования тонкопленочных проводящих систем, принцип работы установки вакуумного напыления «Оратория 29», провести процесс напыления пленки сплава алюминий–кремний и осуществить контроль параметров полученного покрытия.