Читать онлайн «Физический эксперимент в микроэлектронике. Методическое пособие»
Автор Иванов В.П.
В. П. Иванов , В. А. Пручкин
ФИЗИЧЕСКИЙ
ЭКСПЕРИМЕНТ
В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ
• ИЗДАТЕЛЬСТВО ТГТУ •
Министерство образования и науки Российской Федерации
ТАМБОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
В. П. Иванов , В. А. Пручкин
ФИЗИЧЕСКИЙ
ЭКСПЕРИМЕНТ
В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ
Одобрено учебно-методическим советом по направлению 5511 (Проектирова-
ние и технология электронных средств) и учебно-методическими комиссиями по
специальностям 2008 (Проектирование и технология РЭС) и 2205 (Проектирова-
ние и технология ЭВС) в качестве методического пособия для студентов, обу-
чающихся по направлению 5511 и специальностям 2008 и 2205. Тамбов
• Издательство ТГТУ •
2004
УДК 3844. 1я73-5Ф
ББК 621. 382
Ф48
Рецензенты:
Доктор физико-математических наук, профессор
В. А. Федоров
Кандидат технических наук, доцент
А. М. Савельев
Иванов В. П. , Пручкин В. А. Ф48 Физический эксперимент в микроэлектронике: Метод. пособие. Тамбов: Изд-во Тамб. гос. техн. ун-та, 2004. 72 с. В пособии дано описание лабораторных работ по экспериментальным методам, применяемым в
лаборатории технологии деталей РЭС и микроэлектроники. Предназначено для студентов 3 курса дневного отделения специальности 2008. УДК 3844.
1я73-5Ф
ББК 621. 382
© Иванов В. П. , Пручкин В. А. ,
2004
© Тамбовский государственный
технический университет
(ТГТУ), 2004
Учебное издание
ИВАНОВ Владимир Петрович ,
ПРУЧКИН Владимир Аркадьевич
ФИЗИЧЕСКИЙ ЭКСПЕРИМЕНТ
В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ
Методическое пособие
Редактор В. Н. Митрофанова
Инженер по компьютерному макетированию Т. А. Сынкова
Подписано к печати 13. 09. 2004
Формат 60 × 84/16. Гарнитура Times. Бумага офсетная. Печать офсетная. Объем: 4,19 усл. печ. л. ; 4,0 уч. -изд. л. Тираж 100 экз. С. 616М
Издательско-полиграфический центр
Тамбовского государственного технического университета
392000, Тамбов, ул. Советская, 106, к. 14
ВВЕДЕНИЕ
Основной задачей методического пособия является освоение студентами практических
навыков в осуществлении специфических технологических операций и приемов, применяе-
мых при изготовлении микроэлектронных устройств и других деталей радиоэлектронных
средств (РЭС); изучение оборудования, применяемого в экспериментальной практике.
