Читать онлайн «Неравновесная плазма хлора. Свойства и применение»

УДК 537. 525 ББК 24. 5 Е 92 Е ф р е м о в А. М. , С в е т ц о в В. И. Неравновесная плазма хлора: свойства и применение. — М. : ФИЗМАТЛИТ, 2013. — 216 с. — ISBN 978-5-9221-1406-6. В книге рассмотрены результаты экспериментального и теоретического исследования кинетики и механизмов физико-химических процессов в нерав- новесной низкотемпературной плазме хлора и его смесей с инертными и моле- кулярными газами. Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетиче- ское распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемых параметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями актив- ных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников. Книга предназначена научно-техническим работникам в области нерав- новесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей. c ФИЗМАТЛИТ, 2013  ISBN 978-5-9221-1406-6 c А. М. Ефремов, В. И. Светцов, 2013   ОГЛАВЛЕНИЕ Введение . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 Литература . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 Г л а в а 1. Методические вопросы исследования параметров плазмы и гетерогенных плазменных процессов . . . . . . . . . . . . . . . . 10 § 1. 1. Общая характеристика экспериментальных установок и обору- дования . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10 § 1. 2. Получение газов и приготовление газовых смесей . . . . . . . . . . 12 § 1. 3. Определение температуры нейтральных невозбужденных частиц 14 § 1. 4. Определение приведенной напряженности электрического поля 19 § 1. 5. Измерение концентраций нейтральных невозбужденных частиц 21 § 1. 6. Измерение плотности потока положительных ионов на стенку реактора. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31 § 1. 7. Объекты исследования и измерение скоростей травления . . . . . 33 § 1. 8. Моделирование плазмы. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34 § 1. 9. Гетерогенные процессы травления в условиях ННГП: основные понятия и подходы к анализу. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39 Литература . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46 Г л а в а 2. Параметры плазмы и закономерности образования и ги- бели активных частиц при разряде в хлоре . . . . . . . . . . . . . 53 § 2. 1.