• Главная
  • Книги
  • Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
  • 0
  • 0
  • 14
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
0.0
0 оценок

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии

  • 2010 год
Электронную

Описание книги

Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии – реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов.

Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Книга «Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии» автора Сейдман Л. оценена посетителями КнигоГид, и её читательский рейтинг составил 0.00 из 10.

Для бесплатного просмотра предоставляются: аннотация, публикация, отзывы, а также файлы на скачивания.

Рецензии на книгу

Ни одной рецензии нет

9 книг 4 подписки
Все книги о Ведьмаке
11 книг 4 подписки
Научная и очень популярная. Забавная анатомия
15 книг 0 подписок
Читаем первыми. ТОП-15 новейших книг 2020 года
8 книг 0 подписок
"Лабиринты Ехо" Макса Фрая