Юлия Райнова

Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро - и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес. В первом томе основное внимание обращается на анализ физико-химических основ ключевых технологических процессов микроэлектроники, таких как гетерогенное фазообразование, перераспределение вещества при те...

Учебное пособие предназначено для студентов вузов, изучаю­щих технологию микроэлектроники, а также конструирование и тех­нологию радиотехнических микроэлектронных устройств. На основе современных представлений классифицированы физи­ко-химические процессы технологии микроэлектроники. Особое вни­мание уделено трем классам процессов: нарастанию и удалению вещества, перераспределению атомов (ионов) ...